파워앤플라즈마

Planets

플라즈마란? 플라즈마 응용

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구 분	고온플라즈마 (Thermal Plasma)	저온플라즈마(Cold Plasma)
생성방법	Arc Discharge	Glow Discharge	Corona / DBD Discharge
온 도	Te = Ti = Tn = 10³ - 10⁵K	Te = 10⁴ - 10⁵K, Ti = Tn = few 10³ K	Te = 10⁴ - 10⁵K, Ti = Tn = few 10³ K
압 력	상압(대기압) - 고압	저압(10Torr 이하)	상압(수백 Torr 이상)
밀 도	High	High	Low
균 일 도	Medium	High	Low
작용인자	High Temperature Heat	Physical/Chemical Reactor	Physical/Chemical Reactor

* e : electron , i : ion , n : neutral particle